使用變形鏡生成貝塞爾光束進(jìn)行激光加工。現(xiàn)在普遍是利用高斯激光進(jìn)行聚焦加工，但是想要獲得盡可能小的微孔和盡可能深的孔深時(shí)，高斯光束適用性不高，所以使用變形鏡生成貝塞爾光束進(jìn)行激光微加工并且在一些高深徑比微孔結(jié)構(gòu)的器件領(lǐng)域有著十分重要的應(yīng)用價(jià)值。
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